超纯水处理设备首先说一下原水：主要包括自来水、蒸馏水以及去离子水等。
超纯水处理设备机械过滤：主要通过大型超纯水处理设备中的纤维柱滤和砂芯滤板去除水中的机械杂质，如铁、其他悬浮物等。
活性炭过滤：活性炭主要是吸附水中余氯、去除细菌、过渡金属等。
反渗透膜过滤：可去除95%以上的电解质和大分子化合物，如：胶体微粒、病菌等。
紫外线分解：借助短波紫外线照射分解水中不易被活性炭吸附的小有机化合物，如：甲醇、乙醇等。
离子交换单元：离子交换床是除去水中离子的重要技术，可以有效的去除水中的离子。
