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真空镀膜的设备原来加热方式采用电炉盘进行间接加热，该加热方式为外加热方式，存在热传递效率低、散热快、加热速度慢，导致能耗高、设备环境温度高、设备启动时间长等缺点。
因此，我公司采用涡流加热的方式对设备进行内加热方式加热，提高加热效率，降低设备预热时间，减小散热，降低环境温度，降低能耗，期望在原有的基础上节电30%以上。产品的技术说明如下：
一、电源采用三相380V电源输；
二、采用大规模数字处理技术平台，模块化设计，维修更换容易。
三、保护功能完善，产品均有过流、短路、缺相、过压、欠压、过热、线圈开路、防干扰、抗雷击等保护。发生故障时能显示故障代码，方便排除故障。
四、所有元件、配件在加热器连续全功率运转的情况下工作寿命大于5万小时。
五、环境温度－20℃～75℃，湿度≤95%，并能适应一定的恶劣环境。
六、抗工业环境电磁干扰，且不对其它用电设备造成电磁干扰。
扩散泵电磁加热节电装置和电阻丝的对比
（一）在国内真空镀膜扩散泵以电阻丝加热最为普遍
电阻丝加热方式原理：是通过烧红来烘烤真空锅炉底部，从而加热里面的导热油来使扩散泵里面的温度上升来达到设备的工作要求。电阻丝加热热转换效率低，有很大一部分热量浪费在空气中，利用的很少一部分。电阻丝温度高了也很容易烧坏，经常需要更换电热丝。工业电磁加热在扩散泵上应用，给扩散泵行业带来了福音。
电磁加热节电装置的原理：电磁加热是通过把电能转换为磁能让被加热体自身产热的一种加热方式。热转换效率达到95%以上。
（二）扩散泵电磁加热比电阻丝加热的优势：
（1）高效节能，比电阻丝加热节电30%以上。
（2） 加热速度快 ，加热均匀。
（3）运行稳定，控温精确 ，能够精确的控制扩散泵的最佳使用油温，延长扩散油使用寿命。
（4）安装快速 操作方便
（5）改造后5年内基本无二次投入
（三）实验对比 ：一台直径690mm的扩散泵用9kw电阻丝预热时间120分钟左右，正常生产每小时耗电量9度电。用电磁加热节电装置预热时间紧需40分钟左右，正常生产每小时只用5—6度电。节电最少30%。温度可随意调节。操作方便，省钱看得见！电磁加热是替代传统电阻丝加热最佳的节能加热装置。
